應用案例
Application Cases
上海極清慧視科技有限公司針對8英寸、12英寸晶圓缺陷檢測提出了8K超高清集成電路檢測圖像采集平臺的解決方案,幫助機器視覺檢測技術做到更高效、更準確、更具有經濟效益的晶圓缺陷檢測,以取代進口的晶圓缺陷檢測設備或原來用人工視覺檢測的工藝和流程。
高分辨、大靶面更具優勢,經過合理的光源系統設計,獲取晶圓表面的8K圖像,可分辨晶片尺寸以及破損、裂粒、裂痕、氣孔、鎳層等缺陷。
配合極清慧視自研的顯微裝備,可以獲得彩色(黑白)的顯微影像。圖示“顯微圖像”是晶圓表面的一小區域。